Ảnh hưởng của nhiệt độ lắng đọng lên cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quản của màng mỏng ZnO pha tạp F được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Abstract

Bài viết nghiên cứu màng mỏng trong suốt dẫn điện ZnO pha tạp F được lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magneton từ tia gồm Zno pha tạp ZnF2. Cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng FZO được nghiên cứu theo sự thay đổi nhiệt độ lắng đọng, bằng phương pháp như phổ nhiễu xạ tia X, phép đo của ZnO, với định hướng ưu tiên theo trục vuông góc với bề mặt đế