Nghiên cứu phát triển hệ đo độ dày vật liệu thủy tinh nhiều lớp dựa trên công nghệ giao thoa ánh sáng xung lược

dc.contributor.author	Bành Quốc, Tuấn
dc.contributor.author	Phạm Đức, Quang
dc.contributor.author	Nguyễn Quốc, Đạt
dc.contributor.author	Trương Công, Tuấn
dc.contributor.author	Shioda, Tatsutoshi
dc.date.accessioned	2020-12-04T07:20:56Z
dc.date.available	2020-12-04T07:20:56Z
dc.date.issued	2019
dc.identifier.citation	Khoa học Kỹ thuật và Công nghệ	vi
dc.identifier.uri	http://hpstin.vn:8080/xmlui/handle/123456789/2841
dc.description	- Nguồn trích: Tạp chí Khoa học và Công nghệ Việt Nam - Số trang: 35-38 - Chi tiết khác: Tạp chí Khoa học và Công nghệ Việt Nam 61(8) 8.2019	vi
dc.description.abstract	Trong bài viết này, phương pháp đo biên dạng bề mặt (surface profile) và đo cắt lớp độ dày vật liệu (tomograms) dựa trên giao thoa ánh sáng phổ rộng được phát triển. Thông tin biên dạng và độ dày các lớp của mẫu vật là các lớp (tấm thủy tinh nhiều lớp) có thể được tính toán từ vị trí của vân giao thoa trên CCD camera và bậc tương ứng của các vân	vi
dc.language.iso	vi	vi
dc.subject	Ảnh giao thoa ánh sáng	vi
dc.subject	Chụp cắt lớp	vi
dc.subject	Đo biên dạng	vi
dc.subject	Giao thoa ánh sáng	vi
dc.title	Nghiên cứu phát triển hệ đo độ dày vật liệu thủy tinh nhiều lớp dựa trên công nghệ giao thoa ánh sáng xung lược	vi
dc.type	Article	vi