Nghiên cứu phát triển hệ đo độ dày vật liệu thủy tinh nhiều lớp dựa trên công nghệ giao thoa ánh sáng xung lược

Abstract

Trong bài viết này, phương pháp đo biên dạng bề mặt (surface profile) và đo cắt lớp độ dày vật liệu (tomograms) dựa trên giao thoa ánh sáng phổ rộng được phát triển. Thông tin biên dạng và độ dày các lớp của mẫu vật là các lớp (tấm thủy tinh nhiều lớp) có thể được tính toán từ vị trí của vân giao thoa trên CCD camera và bậc tương ứng của các vân